08 Maseveon-station + LC-ontgassingseenheid

Masevon Station Chamber Up-Down + + LC Degassing Unit

1. Inleiding:
1. Dit document beschrijft de functionele vereisten met betrekking tot a;
1.1. LC-lade ontgassingskamer
1.2. De LC-lade-ontgassingskamer is een (gecontroleerde vacuümkamer) waarin
een aluminium schaal met LC-vloeistof wordt in vacuüm ontgast
omgeving gedurende een bepaalde tijd (d.w.z. ingesloten lucht wordt geëvacueerd)
Vacuümprofiel;
1.1. Drukinstelpunten instelbaar tussen 1,103 en 1,10-3 mBar
Pedpswam Sasfx Afxerd
1.1.1. Meetbereik: 1.103 – 5.10-4
1.2. Tijdsinstellingen instelbaar tussen 1 en 600 min per stap
1.2.1. De ontgassingsstap (D) kan minuten tot dagen duren
1.3. Evacuatie- en ventilatiesnelheden moeten controleerbaar zijn
1.4. De evacuatiecyclus (A – D) wordt automatisch uitgevoerd
1.4.1. De ontluchtingsstap (E) moet handmatig worden geactiveerd (bediener)
1.5. Typisch ontgassingsprofiel
2. Interieur;
2.1. Roestvrijstalen (aluminium) gepolijste proceskamer (binnenkant)
2.1.1. Lekpercentage moet nog worden besproken
2.2. LC-lade (aanpassing) lade om de LC-lade eenvoudig te (ont-)laden (geen schokken/schudden)
beweging toegestaan), zie Sectie 2 LC-lade afmetingen en bijlage 1
2.3. De LC-bak moet te allen tijde waterpas zijn om morsen van LC te voorkomen
2.4.Kamer moet gemakkelijk/snel toegankelijk zijn voor reiniging en/of LC-lade
(uit)laden
2.5.De binnenkant van de kamer moet gepolijst worden voor een gemakkelijke reiniging en ter voorkoming van
verontreiniging en/of vochtophoping
2.6. Monitoring (venster) mogelijkheid van de ontgassingscyclus, d.w.z. monitoring LC
vloeistofoppervlakgedrag in de LC-lade
2.7.Geen procesverontreiniging veroorzaakt door kamermateriaal (-productie)

De advertentie werd automatisch vertaald. Vertaalfouten zijn mogelijk.